Simulation PIC-MCC du plasma dans un réacteur magnétron DC en modes équilibré et déséquilibré
1 : Laboratoire de physique des gaz et des plasmas
(LPGP)
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Site web
CNRS : UMR8578, Université Paris Sud - Paris XI
LPGP UMR 8578 CNRS-UPS, Université Paris-sud XI, bât. 210, 91405 Orsay cedex -
France