Analyses par Sonde de Langmuir et par Spectroscopie d'Emission Optique d'un Plasma de Type RF-IPVD pour le Dépôt de Couche Minces de Cuivre Sur PPS
1 : Laboratoire de physique des gaz et des plasmas
(LPGP)
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Site web
CNRS : UMR8578, Université Paris Sud - Paris XI
LPGP, bat 210, Université Paris-Sud, 91405 ORSAY Cedex -
France
| Type : | : | Affiche |
| Thématiques | : | Plasmas Froids |
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