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Analyses par Sonde de Langmuir et par Spectroscopie d'Emission Optique d'un Plasma de Type RF-IPVD pour le Dépôt de Couche Minces de Cuivre Sur PPS
Ismael Guesmi, Caroline Boisse-Laporte  1, @  , Jean Bretagne, @
1 : Laboratoire de physique des gaz et des plasmas  (LPGP)  -  Site web
CNRS : UMR8578, Université Paris Sud - Paris XI
LPGP, bat 210, Université Paris-Sud, 91405 ORSAY Cedex -  France
Type : : Affiche
Thématiques : Plasmas Froids
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