Caractérisation de matrices de micro plasmas sur silicium
1 : Schwaederlé
Université d'Orléans
GREMI -
France
2 : V. Félix
Université d'Orléans
3 : P. Lefaucheux
Université d'Orléans
4 : T. Tillocher
Université d'Orléans
5 : O. Aubry
Université d'Orléans
6 : S. Dozias
Université d'Orléans
7 : R. Dussart
Université d'Orléans
8 : P. Ranson
Université d'Orléans
9 : H. Boettner
10 : V. Schulz-von der Gathen
11 : L. J. Overzet