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Caractérisation de matrices de micro plasmas sur silicium
Mukesh Kumar Kulsreshath  1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11@  
1 : Schwaederlé
Université d'Orléans
GREMI -  France
2 : V. Félix
Université d'Orléans
3 : P. Lefaucheux
Université d'Orléans
4 : T. Tillocher
Université d'Orléans
5 : O. Aubry
Université d'Orléans
6 : S. Dozias
Université d'Orléans
7 : R. Dussart
Université d'Orléans
8 : P. Ranson
Université d'Orléans
9 : H. Boettner
10 : V. Schulz-von der Gathen
11 : L. J. Overzet

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